Presentation laddar. Vänta.

Presentation laddar. Vänta.

Mjuk nanolitografi Anders Elfwing. NIL (back to old tech) Termisk NIL (hot embossing): Trycka in ett mönster i en polymer upphettas över glastemperaturen.

Liknande presentationer


En presentation över ämnet: "Mjuk nanolitografi Anders Elfwing. NIL (back to old tech) Termisk NIL (hot embossing): Trycka in ett mönster i en polymer upphettas över glastemperaturen."— Presentationens avskrift:

1 Mjuk nanolitografi Anders Elfwing

2 NIL (back to old tech) Termisk NIL (hot embossing): Trycka in ett mönster i en polymer upphettas över glastemperaturen under processen UV NIL: Trycka in ett mönster i en polymer som härdas med UV-ljus under processen

3 Användning av nanomönster som form Nano imprint lithography (NIL) Nano stencil lithography (NSL) Snabb tillverkning av replikat av långsamma skrivande metoder t ex e beam och ion beam

4 Termisk NIL David Mendels Temperatur kontra tryck viktigt

5 Termisk NIL Stämpel mönster ej helt fyllda  För låg T För kort tid Mönster skiftade  Termisk expansion Bra imprinting Polymerfilm bortsliten  Dålig addesion

6 Termisk NIL

7 UV NIL + snabbare -ej lika utvecklat,material problem

8 NIL summering + Sub 20 nm features utan EUV + Billigare än foto litografi, E/Ion- Beam - Inte moget för CMOS? - Alltid en residual film

9 Nano Stencil Lithography L. Doeswjik Enligt en NSL förespråkare – enkelt, utan resist och ickekontakt

10 NSL - strukturer

11 Exempel på masktillverkning Komplicerad litografisk process ??

12 NSL – fördelar + Resistlös + Många material möjliga + Utan kontakt + Utan uppvärmning + Relativt billigt + Multipla lager möjliga Mikro och nano på en gång Känsliga (kemiskt och fysiskt) ytor kan beläggas Ytor med varierande topografi kan beläggas Men……

13 NSL - nackdelar − Väldigt dyr mask, med sammanhängade strukturer − Kräver vakuum − Utsuddning av strukturer pga gap − Deformering av masken L. Doeswjik

14 NIL


Ladda ner ppt "Mjuk nanolitografi Anders Elfwing. NIL (back to old tech) Termisk NIL (hot embossing): Trycka in ett mönster i en polymer upphettas över glastemperaturen."

Liknande presentationer


Google-annonser